無油真空泵 ( 以下簡稱干式機械泵 ) 是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式機械真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
 

　　目前，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：
 

　　一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。
 

　　其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
 

　　對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能*解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的無油真空泵，則可以達到理想的使用效果。
 

　　無油真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
 

　　1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
 

　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
 

　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的真空泵可以滿足要求;
 

　　4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用無油真空泵;
 

　　5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。